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真空差圧方式は、正圧差圧方式の良いところをそのまま踏襲し、ワークの温度変化、室温変化、年間の季節による気温変動、測定中の雰囲気の変化、外乱(気流、遠赤外線照射、素手接触等)による測定値のバラツキを押さえ、今まで弱点であった温度や気候の変化による誤判定をなくした方式です。
エアリークテスタのむずかしい点は、くり返し継続安定測定をするための条件づくり、環境づくりをおろそかに出来ないことです。エアリークテスタの利点である扱いやすさ、初期投資費の安さ、消耗品、消費財が日常的にないのでランニングコストが安い、専門的知識要員を必要としないなど、優れたところをそのまま活用し、その上で温度影響を無くしたのが、この真空差圧方式です。
一般に多く使われている正圧差圧方式では検出媒体に圧縮空気を扱うので、圧縮性流体の特性が、そのまま検査性能上の問題としてあらわれます。 真空差圧方式は、温度変化による運動量の大きい空気分子の量をできるだけ少なくすることによって、不安定さを削減しようとする方式です。
測定圧が高いほど分子の量が多くなり、温度変化による圧力変動が大きくなります。
ワーク内の分子数を少なくすれば、分子間距離が大きくなって、温度の伝導率が減少し、分子の運動量が小さくなり、圧力変動が押えられ、結果として見かけの漏れ現象や、測定値のバラツキ、誤判定をなくします。
真空差圧テスタは、いわゆる真空計ではありません。センサーの消耗劣化に対する日常管理のわずらわしさや、感度較正の難しさがありません。
下記に測定形式別構成例を示します
それぞれ、特徴がありワークに合った測定方式を選ばないと、検査に時間がかかったり、思うような精度が得られなかったりします。漏れ検査を検討される場合は、測定器だけではなく測定方法を良く検討すべきです。